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費希爾X射線測厚儀 XULM240 產(chǎn)品信息
更新時間:2026-03-04   點擊次數(shù):238次

菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心特點

高精度測量:

配備比例接收器,能實現(xiàn)高計數(shù)率,進而進行高精度測量。

測量厚度精度高,當(dāng)Au厚度大于0.1μm時,有標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)情況下精度<±5%,無標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)情況下精度<±10%。

最小測量點大小約0.09x0.09mm,適合測量微小區(qū)域。

多功能測量:

支持單性金屬鍍層厚度、合金鍍層厚度、雙鍍層厚度、雙鍍層(其中一層是合金)厚度、三鍍層厚度等多種測量模式。

可同時測定最多5種不同元素,分析多達四種金屬成分的合金。

微聚焦X射線管:

配備微聚焦X射線管以及可電動切換的視準(zhǔn)器和基本濾片,更適合對微小型工件進行測量。

焦點尺寸≤50μm,能精準(zhǔn)測量半導(dǎo)體芯片金線鍍層、精密傳感器電極等微型結(jié)構(gòu)。

智能化軟件:

搭載WinFTM®軟件,能預(yù)設(shè)測量程序(最多100組),進行數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析并生成報告,滿足ISO 9001等質(zhì)量管理體系要求。

支持薄膜FP法和塊體FP法軟件,可分析含鉛合金、多層鍍層(如Ni/Cu/Au)等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。

便捷操作與觀察:

內(nèi)置500萬像素彩色視頻顯微鏡,支持38x-184x光學(xué)變焦,可實時觀察樣品表面細(xì)節(jié)并標(biāo)記測量區(qū)域,定位精度達±0.005mm。

射線方向從下至上,樣品放置快速簡便;底部C型開槽的大容量測量艙,方便容納更多樣品。


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