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CCI HD非接觸式白光干涉輪廓儀信息

更新時間:2025-08-18      瀏覽次數(shù):542

CCI HD非接觸式白光干涉輪廓儀基礎(chǔ)測量:提供尺寸和粗糙度測量功能。

膜厚測量:支持兩種類型的膜厚測量,涵蓋厚膜和薄膜涂層:

厚膜測量:可研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料,測量限制取決于材料的折射率和標的物的 NA。

薄膜測量:能測量厚度至 50 納米的薄膜涂層(同樣取決于折射率),且通過干涉測量法,可在單次測量中同時研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。

技術(shù)特點

采用享有優(yōu)勢的新型關(guān)聯(lián)算法,用于查找由精密光學掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位,整合了非接觸式尺寸測量功能和良好的厚薄膜測量技術(shù),能應(yīng)對薄膜涂層測量難度更高的挑戰(zhàn)。


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